低頻率的橡膠空氣彈簧隔振

橡膠空氣彈簧組成的低頻隔振系統(tǒng)的設(shè)計和性能。從壓印光刻機的結(jié)構(gòu)可以看出，該儀器具有較高的精度空氣彈簧性能，但由于外界環(huán)境的振動激發(fā)，儀器的各個部件會產(chǎn)生較大的相對振動，從而降低精度。系統(tǒng)的影響更大。這就需要采取有效的隔振措施。根據(jù)隔振要求，采用橡膠空氣彈簧作為隔振裝置，以達(dá)到隔絕外界振動的目的。需要橡膠空氣彈簧隔離5Hz以上的振動干擾，隔振效率可達(dá)90%以上。

橡膠空氣彈簧是一種氣動隔振器。橡膠空氣彈簧的載荷和位移特性如圖1所示。在工作范圍內(nèi)，位移不隨載荷的增加而變化，即零壓縮特性。橡膠空氣彈簧工作時，內(nèi)腔充滿壓縮空氣(工作壓力≤0.7MPa)，形成壓縮空氣柱。彈簧高度降低，內(nèi)腔容積降低，彈簧剛度增大，內(nèi)腔氣柱有效承載面積增大。當(dāng)承載能力降低時，彈簧高度增加，內(nèi)腔容積增加。彈簧剛度降低，內(nèi)腔氣柱有效承載面積降低，此時彈簧承載能力降低。在有效行程中，空氣彈簧的高度、腔體體積和承載能力會隨著振動載荷的波動而平穩(wěn)靈活地傳遞。

當(dāng)存在低頻（5Hz~10Hz）激振力時，橡膠空氣彈簧壓力隔振器可以保護(hù)精密儀器部件免受低頻激振力的激勵。它是一種非常合適的隔振器。用于確定0.5Hz2·橡膠空氣彈簧隔振傳遞率、剛度和系統(tǒng)固有頻率的共振頻率（即系統(tǒng)固有頻率）。